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羅茨泵機(jī)組的極限真空

罗茨泵,又称为增压泵,其主要作用是提高真空度。单个罗茨泵的极限压力可达到5*10-2Pa。适用工作压力范围在103~10-1Pa。

但传统罗茨泵无法单独工作,必须配套机械泵(又名前级泵)使用。 在搭配不同的前级泵时,罗茨泵机组达到的极限真空度不同。因此,在选择配套机械泵时,除了考虑工作环境的要求外,还需考虑工作真空。下表为罗茨常见机械泵配套使用能达到极限压力,仅供参考:

机组类型 机组配置 极限压力(Pa)
罗茨滑阀(旋片)真空机组 罗茨+单级滑阀/旋片泵 ≤1*10-1
罗茨+罗茨+单级滑阀/旋片泵 ≤2*10-2
罗茨+罗茨+罗茨+单级滑阀/旋片泵 ≤1*10-2
罗茨+双级滑阀/旋片泵 ≤2*10-2
罗茨+罗茨+双级滑阀/旋片泵 ≤1*10-2
罗茨+罗茨+罗茨+双级滑阀/旋片泵 ≤8*10-3
罗茨水环真空机组 罗茨+水环泵 ≤300
罗茨+罗茨+水环泵 ≤40
罗茨+罗茨+罗茨+水环泵 ≤1
罗茨油环真空机组 罗茨+油环泵 ≤100
罗茨+罗茨+油环泵 ≤2
罗茨+罗茨+罗茨+油环泵 ≤5*10-1
罗茨水环大气喷射泵机组 罗茨+水环泵+大气喷射泵 ≤40
罗茨+罗茨+水环泵+大气喷射泵 ≤2
罗茨往复真空机组 罗茨+往复泵 ≤300
罗茨+罗茨+往复泵 ≤40
罗茨+罗茨+罗茨+往复泵 ≤2

实例说明:

阿根廷某镀膜机用户,现场有卧式镀膜腔体:Ø 1.20 m *1,20 m,罗茨机组在2分钟内达到3~4torr (即300~400Pa)。

我司提供ZJP1200罗茨+H150单级滑阀泵机组一套,机组总功率<18.5Kw(被替换的机组总功率达到26Kw)。出厂前测试罗茨泵启动30秒内达到2.5*10-1Pa,优于客户要求。

设备在客户仓库图片供参考:

罗茨泵.jpg

 

标签:罗茨泵滑阀泵水环泵罗茨机组

编辑人:胡羽(上海坎特真空科技有限公司)

 

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