品牌：EVP
分類： 干式真空泵
Availability : In Stock
產品描述: CXF-系列渦輪分子泵，響應時間短，可以抽不含碳氫化合物的介質，維護次數少，振動低，在有此類需求的工況中是用戶的理想選擇
CXF-系列磁懸浮分子泵參數表 :
| 型號 | CXF-200/1400 | CXF-250/2300 | CXF-320/3000 | ||
| 理論抽速 | L/s | 1400 | 2300 | 3000 | |
| 排氣法蘭 | KF40 | KF40 | KF40 | ||
| 進氣口法蘭（可選） | DN200 LF | DN250 LF | ISO-F 320
(其他法蘭可定制) |
||
| DN200 CF | DN250 CF | DN 320 LF | |||
| 極限壓強 | Pa | ≤2×10-6 | ≤2×10-7 | ≤5×10-7 | |
| 建議啟動壓強 | Pa | <5 | <5 | <5 | |
| 額定轉速 | Rpm | 3000(可調) | 27000(可調) | 21000 | |
| 啟動時間 | Min | 11 | 11 | 12 | |
| 振動值 | μm | <0.05 | <0.05 | <0.015 | |
| 建議前級泵 | L/s | 15 | 12 | 15 | |
| 水嘴 | ID ?10 直插自密封 | ||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | ||
| 冷卻水流量 | L/min | 1 | 1 | 1 | |
| 冷卻水壓力 | Mpa | 0.15 | 0.15 | 0.15 | |
| 冷卻水溫度 | ℃ | 20 | 20 | 20 | |
| 環境溫度 | ℃ | 5-45 | 5-45 | 5-45 | |
| 安裝位置 | 垂直，水平，倒立 | ||||
| 重量 | Kg | 47 | 58 | 70 | |
简介：
CXF-系列涡轮分子泵，响应时间短，可以抽不含碳氢化合物的介质，维护次数少，振动低，在有此类需求的工况中是用户的理想选择。分子泵的转子在磁力轴承的作用下被完全悬空， 转子不和泵腔内任何部件接触。因为泵腔内没有任何摩擦所以分子泵各部件使用寿命超长。同时，振动值非常低。在设计中，CXF-系列带有转子悬浮状态监测，转子自动平衡， 运行排气负载监控， 断电自动保护等功能。
主要优势:
无油，能获得超洁净真空；
因泵腔内无任何摩擦，不需要维护保养，节约使用成本；
低振动，低噪音，为用户提供良好的使用环境；
转速可调，用户可以根据不同工况调节泵的转速满足不同气量要求；
结构紧凑节省安装空间；
可任意角度安装，所以安装方便；
抗前级压力强。
应用:
半导体生产研究，玻璃镀膜，天阳能电磁，电子显微镜，冶金，等离子科技，医疗设备，等。
如有可能，請建議您的工作行業/工藝、工作壓力、工作介質等。給出詳細的請求有助于獲得更好地匹配的定制解決方案。謝謝你的耐心
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