| 型號 | 單位 | FB-600 | FB-1200 | FB-1600 | FB-3600 | ||||
| 高真空法蘭 | mm | 150CF | 160
ISO-K |
200
CF |
200
ISO-K |
250
CF |
250
ISO-K |
400
ISO-K |
|
| 前管法蘭 | mm | 40 KF | 40 KF | 50 KF | 100 ISO-K | ||||
| 泵速 | L/s | 600 | 1200 | 1600 | 3600 | ||||
| 壓縮率 | N2 | >109 | >109 | >109 | >108 | ||||
| H2 | >8×103 | >1×104 | >1×104 | >5×102 | |||||
| 極限壓力 | Torr | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | <5×10-7 | <8×10-8 | <5×10-7 | <2×10-6 | |
| 電機轉速 | rpm | 24000 | 24000 | 24000 | 13500 | ||||
| 振動值 | μm | ≤0.1 | ≤0.1 | ≤0.15 | ≤0.15 | ||||
| 啟動時間 | min | <4.5 | <5 | <6 | <11 | ||||
| 前泵轉速 | L/s | 4-8 | 8-15 | 15 | 30-70 | ||||
| 冷卻方法 | / | Air / water | Air / water | Air / water | water | ||||
| 環境溫度(Air) | ℃ | ≤20 | ≤20 | ≤20 | / | ||||
| 水冷卻 | 溫度 | ℃ | ≤35 | ≤35 | ≤35 | ≤25 | |||
| 消耗 | L/m | 1-2 | 1-2 | 1-2 | 2 | ||||
| 烘烤溫度 | ℃ | <120 | <120 | <120 | <120 | ||||
| 加熱器 | 功率 | Kw | <250 | <300 | <350 | / | |||
| 電壓 | V | AC220 | AC220 | AC220 | / | ||||
| 安裝位置 | / | 垂直±5° | |||||||
| 重量 | Kg | 25 | 29 | 31 | 100 | ||||
简介：
FB 系列复合分子泵属于无油干泵，是获得清洁高真空的理想设备。
FB 系列复合分子泵有涡轮分子泵和盘式牵引泵组合而成，它同时具有涡轮分子泵分子流时抽速大，压缩比高，牵引泵高压强是抽速大，压缩比高德特点，扩展了分子泵的应用范围。
复合分子泵对被抽气体无选择性，无记忆效应，由于对分子量大的气体有很高的压缩比，因此该泵不需要冷阱和油挡板即可获得清洁的高真空和超高真空。
FB复合分子泵采用进口精密轴承支撑，冷却方式为水冷或风冷，风冷泵工作环境温度必须低于28℃，转子经过整机动平衡，运转平稳可靠，电机为鼠笼式三相电机，轴承润滑采用锥孔轴自吸油润滑，简易可靠，但也决定了分子泵只能垂直安装。
应用：
工业捡漏，PVD, CVD, 离子注入，真空电子元器件制造，Low-E玻璃，ITO玻璃，光学镀膜，太阳能电池，电子束焊接，真空炉等领域。
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